潔凈廠房空調系統(tǒng)的特點

                          潔凈廠房空調系統(tǒng)與一般民用建筑的空調系統(tǒng)的不同，它首先對控制區(qū)的潔凈度有很高要求。導體器件廠房內，在硅襯底上只要落有電路線寬1/10～1/3大小的灰塵可能會導致芯片電路短路。除了對清潔度的高要求外，潔凈廠房的空調系統(tǒng)對溫度、濕度、震驚和噪聲也有不同程度的要求。

                          同時，由于半導體設備生產工藝的特點，需要整天清潔車間(24h)保持相應的清潔度。目前，清潔空調系統(tǒng)（包括排氣系統(tǒng)）、配套的冷熱源及相應的輸送系統(tǒng)每天需要24個h運行也與其他空調系統(tǒng)大不相同。運行時間的增加也使其空調系統(tǒng)的節(jié)能更具潛力和意義。

  為了降低潔凈廠房空調系統(tǒng)的能耗，首先要分析其能耗特性。

  1)送風量大

                      清潔度的進步和維護是半導體設備廠空調系統(tǒng)設計和運行的重要任務。這項任務的完成取決于高供氣量和高能耗。就供氣量而言，一般辦公樓的通風次數為10h-1左右，為了滿足相應的清潔為了滿足相應的清潔要求，需要保證通風次數高，導致輪回風量大。100級潔凈室通風次數可選擇400級h-1.每天選擇1萬級潔凈室的換氣次數40 h-1.1萬級潔凈室的通風次數也應為30 h-1。

  2)新風負荷大

                      在電子廠房，部分車間發(fā)出有害氣體，需要通過排氣消除，增加了系統(tǒng)的新風量。在潔凈室的各種制冷負荷中，最重要的是新鮮空氣、風扇溫升和設備散熱，尤其是大的新鮮空氣。根據相關統(tǒng)計，新鮮空氣負荷可達20％～70％，風機溫升從8％～20％工藝設備可達16%～50％。潔凈室所需的新風量均勻為45～60m3/（m.m2)新風冷負荷比室內顯熱冷負荷近一倍。

  3)風機全壓高

                      工藝設備的發(fā)熱情況因生產工藝不同而異。有些工藝設備是高發(fā)熱設備，需要更多的冷負荷來抵消。簡而言之，潔凈廠空調系統(tǒng)具有排氣量大、送風量大、工藝設備發(fā)熱量大、阻力大、風機靜壓高的特點，共同創(chuàng)造了潔凈廠空調系統(tǒng)的高能耗。

                      與簡單空調房相比，天然潔凈室的單位面積建設成本和能耗要大得多。然而，清潔空調系統(tǒng)的節(jié)能問題在中國還沒有引起足夠的關注。然而，隨著信息產業(yè)向中國的戰(zhàn)略轉移，清潔工廠的高能耗和節(jié)能問題也成為中國能源短缺不可避免的問題。目前，潔凈室和潔凈廠空調系統(tǒng)的節(jié)能具有積極意義。

  3系統(tǒng)節(jié)能方案

                      清潔廠空調系統(tǒng)首先是空調系統(tǒng)。因此，一般空調系統(tǒng)的節(jié)能措施，如圍護結構保溫、系統(tǒng)流量變化、排氣熱回收、高教育制冷機、水泵風機設備等，可應用于清潔廠空調系統(tǒng)的節(jié)能設計和改造。同時，清潔廠空調系統(tǒng)有自己的特點，也有自己的系統(tǒng)節(jié)能特點和方法。

  1)潔凈風量與空調風量分開

                      潔凈室進氣功能，一是空調（空氣溫濕處理，滿足潔凈室溫濕度要求）；二是凈化（空氣過濾滿足潔凈室的清潔要求）。一般來說，凈化風量大大超過空調風量。如果空調進氣同時發(fā)揮空調和凈化的作用，即空調風量和凈化風量不分開，所有回風都應通過空調箱進行集中處理。當空氣處理設備通過空氣處理設備時，阻力會很大，風扇能耗會急劇增加。冷熱抵消，造成不必要的鋪張。如果空調和凈化部門的風量分開處理，可以過濾凈化風量，可以大大縮短凈化風量輸送管道的長度；對于空調風量，由于風量較小，可以節(jié)省空氣冷熱處理，降低輸送部分和輸送能耗。

  2)減少空調系統(tǒng)風量

                      清潔廠對清潔度要求高，造成空調系統(tǒng)風量大。從空氣動力學知識可以看出，風機等動力設備的能耗與其風量的三次成正比。目前，降低系統(tǒng)風量對清潔廠空調系統(tǒng)的節(jié)能具有重要意義。

                      空調凈化系統(tǒng)的送風量取決于通風次數和房間體積。目前，減少系統(tǒng)的送風量可以從減少通風次數和減少清潔空間兩個方面入手。通風次數取決于清潔度和氣流組織。

  (1)氣流組織

                      公平設計潔凈室內空氣活動形式和分布，稱為氣流類型。潔凈室的氣流類型主要分為三類：非單向流、單向流和混合流。單向流潔凈室的氣流從室內送風側流向相應的回風側。目前，可以選擇更高的清潔度。但它需要大量的風量和大量的能耗。非單向流的氣流速度和方向在潔凈室的不同地方不同。污染物用高效過濾器處理的潔凈空氣稀釋，以保持室內所需的空氣清潔度水平?；旌狭髑鍧嵤菍⒎菃蜗蛄骱蛦蜗蛄髟诮y(tǒng)一潔凈室中的組合。其特點是：單向流，其他為非單向流，既滿足了使用要求，又節(jié)省了設備投資和運行成本。

                      為實現(xiàn)潔凈廠房空調系統(tǒng)的節(jié)能，應根據廠房不同地方對潔凈度的不同要求采用相應的氣流組織?？梢酝ㄟ^CFD科學的氣流組織可以公平降低潔凈室的均勻氣流速度、通風次數和送風量，從而降低系統(tǒng)的能耗。

  (2)減少清潔面積

                      縮小清潔面積：一方面減少凈化系統(tǒng)的送風量；另一方面，它還可以減少和控制員工對清潔區(qū)域的影響。物理劃分樞紐要求高的清潔區(qū)域和附近要求不嚴格的清潔環(huán)境，即所謂的樞紐清潔區(qū)域采用點或線保護而不是表面保護，可以減少單向流量的清潔區(qū)域。例如，在安全實驗室、制藥廠和小型生產用戶中，非單向流潔凈室通常設置清潔工作臺、清潔量或層流罩等局部單向流潔凈區(qū)；在IC工廠，清潔控制面積一般較大，可將工藝設備的核心加工區(qū)和維護服務和維護區(qū)物理劃分，樞紐加工區(qū)置于層流蓋下，單向流維護和控制高清潔度；降低其他區(qū)域所需的清潔度。由于核心區(qū)域的面積仍然相對較小，因此可以顯著降低系統(tǒng)的總運行成本。

  3)減少新風量

                  在潔凈廠房空調系統(tǒng)中，新風負荷占很大比例。目前，降低新風量對降低潔凈空調系統(tǒng)能耗具有重要意義。

                  要減少系統(tǒng)的新風量，首先要減少系統(tǒng)的排氣量。IC工廠中，因為半導體出產中大量使用酸、堿及有機溶劑，會產生各種有毒有害氣體。對此，應盡量采用局部排風，用起碼的風量，控制有害氣體的擴散，并將其排至室外。根占有害氣體披發(fā)的場所結構和性質，在不妨礙工藝操縱的情況下，可加設各種相應的排氣罩。同時為減少有害氣體在的擴散，排風口應盡量靠近有害氣體披起源。

                  的正壓風量與潔凈室的控制壓差和潔凈室的密封性有關。壓差主要由潔凈室的性質和規(guī)格決定。因此，為了減少正壓風量的維護，系統(tǒng)的密封性應主要增加。由于潔凈系統(tǒng)的正壓高于一般空調系統(tǒng)，對系統(tǒng)的密封性要求較高。

  4)系統(tǒng)風量控制

                  從節(jié)能的角度來看，潔凈室的送風量應是保持潔凈室溫度、濕度和潔凈度的最小送風量。由于各種原因，系統(tǒng)中的風量經常發(fā)生變化。這需要相應的控制系統(tǒng)。即使跟蹤過濾器阻力的變化，也可以根據生產情況調整系統(tǒng)的送風量，并配合監(jiān)測正壓的微壓差變送器檢測信號送風系統(tǒng)PLC等待控制器，然后利用成熟的變頻技術調整風扇等設備的速度，實現(xiàn)系統(tǒng)風量的優(yōu)化運行。同時，可編程控制器可以設定延遲和自動切換的時間。

                      當然，正如前面提到的，潔凈廠房空調系統(tǒng)的節(jié)能還包括很多其他方面。本文僅根據潔凈廠房空調系統(tǒng)的特殊性，討論相應的節(jié)能措施。與一般空調系統(tǒng)節(jié)能相同的其他方面，本文將不再重復。

  更多內容：江門廠房出租 ** .0750hc.cn